基于脉冲激光烧蚀的高精度快速薄膜热电器件及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于脉冲激光烧蚀的高精度快速薄膜热电器件的制备方法。在基底上沉积电极层后，先在电极层表面沉积热电材料，再利用激光烧蚀实现热电材料图案化，接着沉积绝缘层、喷涂上电极后制得薄膜热电器件，此技术可有效降低加工成本、减少加工环节。通过引入激光烧蚀法实现热电对高密度图案化的同时，薄膜热电材料可进行高温沉积，有利于实现高性能核心功能材料的引入。此外，通过将单个热电对的结构设计为“之”字型，实现同类型热电材料相邻排列，有效提高单位面积内热电对的集成数量，从而薄膜热电器件功率密度输出获得大大提升。