利用超快激光进行透明材料三维结构的加工装置和加工方法

摘要

一种利用超快激光进行透明材料三维结构的加工装置，包括飞秒激光器、衰减片、缩束镜、声光调制器、扩束镜、反射镜、显微物镜、电脑以及供待加工的透明材料放置的三维平移台。本发明对飞秒激光的整形通过调节飞秒激光器的压缩器而实现，整形之后的激光脉冲在时域上被展宽，增长了激光的脉冲宽度，将整形后的激光通过低数值孔径物镜聚焦至透明材料内部，即可在焦点处得到三维对称性良好的近球形改性区域，提高了低数值孔径物镜聚焦条件下的加工精度。本发明使得“大深度”与“高精度”可同时实现，在激光对透明材料改性之后，通过化学腐蚀方法可高保真的将激光改性区域去除，使用该方法可进行大尺寸的复杂精细三维结构的加工。