MOVCD中的激光等离子复合清洗装置

摘要

MOVCD中的激光等离子复合清洗装置，包括一套或多套旋转折叠机械臂以及等离子与激光复合清发生洗装置，旋转折叠机械臂前端安装等离子激光复合清洗头；等离子激光复合清洗头包括两块导电金属板，导电金属板两端连接有绝缘板，绝缘板外部设置有金属外壳，导电金属板、绝缘板以及金属外壳之间形成空腔体，空腔体连接有输气管，输气管中通入氦气，导电金属板与等离子与激光复合清洗装置相连；等离子激光复合清洗头还包括激光发射头，激光发射头安装在旋转折叠机械臂前端，激光发射头连接有激光光路，激光光路设置旋转折叠机械臂内，且激光光路连接等离子与激光复合清洗装置；等离子与激光复合清洗发生装置包括激光发生器以及等离子高频高压电源。