液晶基板の洗浄技術：大気圧プラズマクリーニング装置－アイプラズマ

摘要

現在、家庭用大型フラットディスプレイやPDAなどに代表される液晶·プラズマディスプレイなどのFPD（フラットパネルディスプレイ）市場では、高品質·高画質表示が要望され、ファインピッチ化が進んでいる。 また表示部のファインピッチ化·小型化、ガラス面への実装·フイルム基板への回路搭載などの新技術が開発·応用され、ディスプレイ接合面の「接合信頼性」·「接合強度アップ」への要望が高まっている。 放下電工マシンアンドビジョンでは、1999年12月にこれら接合面の「接合信頼性」·「接合強度アップ」の要望に対応した、「大気圧プラズマクリーニング装置：Aiplasma（アイプラズマ）」を開発·販売した。これは、大気圧状態で安定したプラズマを連続的に発生させ、酸素·水素プラズマで接合面の有機物を除去、表面改質、密着性の改善をインラインで行える、他社にない新技術で、ユーザから好評を得ている。 またユーザからは、伸長するFPD市場に伴い、Aiplasmaの小型化への要望もあった。