一种适用于不同大尺寸规格石墨载板的防绕镀石墨挡板

摘要

本发明公开了一种适用于不同大尺寸规格石墨载板的防绕镀石墨挡板，包括石墨载板，所述石墨载板的侧壁上设有多个石墨导条，且石墨导条与石墨载板之间设有石墨垫片，所述石墨载板的两端均设有石墨防绕镀挡板，且石墨防绕镀挡板通过多个沉头螺丝与石墨载板连接，所述石墨载板的两侧均设有第一辅助固定机构。本发明避免了因尺寸过长导致反应硅片受热不均匀而产生色差，有效的解决了大尺寸规格的石墨载板在实际生产中的绕镀及色差问题，满足了不同厂商技术改造的需求、改善了产品质量、降低了生产成本、提升了设备的利用率。