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公开/公告号CN111426686A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-17
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN202010256966.7
发明设计人 尚潇;史丽娜;牛洁斌;李龙杰;谢常青;刘明;
申请日2020-04-02
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人吴梦圆
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-12-17 10:50:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/84 申请日:20200402
实质审查的生效
2020-07-17
公开
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