法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q10/06 申请日:20191213
实质审查的生效
2020-05-19
公开
公开
机译: 设备能力评估方法及自动学习
机译: 晶片平坦度评估方法,执行该评估方法的晶片平坦度评估装置,使用该评估方法的晶片制造方法,使用该评估方法的晶片质量保证方法,使用该评估方法的半导体器件制造方法以及使用通过评估的晶片的半导体器件制造方法评估方法
机译: 晶片平坦度评估方法及实施该评估方法的装置;使用评估方法的晶圆生产方法,使用评估方法的晶圆质量保证方法,使用评估方法的半导体器件生产方法以及使用评估方法评估的晶圆的半导体器件生产方法