一种跨尺度分级微结构创成方法

摘要

本发明涉及一种跨尺度分级微结构创成方法，集成了慢刀伺服、椭圆振动（或快刀伺服）和超声振动三种加工方式，慢刀伺服主要创成毫米或亚毫米尺寸的微结构，椭圆振动（或快刀伺服）主要在所述慢刀伺服创成微结构表面创成微米或亚微米尺寸的微结构，超声振动主要在所述椭圆振动（或快刀伺服）创成微结构表面创成纳米尺度的微结构；所述慢刀伺服可以由机床的伺服导轨或设计的低频大行程伺服驱动装置实现，所述椭圆振动（或快刀伺服）由设计的非共振椭圆振动装置实现，所述超声振动由设计的超声振动装置实现。在跨尺度分级微结构创成领域，本发明对不同工件材料的适应性强、工序少、加工效率高、易于实现，且能大大降低刀具的磨损，从而降低加工成本。