基于弛豫铁电单晶薄膜的压电微机械超声换能器及其制备

摘要

本发明基于弛豫铁电单晶薄膜的压电微机械超声换能器及其制备，涉及超声换能器技术领域。该压电微机械超声换能器由顶部电极层1，压电薄膜层2，底部电极层3，粘附层4以、衬底5以及底部空腔6组成。其中，所述顶部电极层1和底部电极层3均为铂(Pt)；所述压电薄膜层2为弛豫铁电单晶薄膜；所述粘附层4为二氧化钛(TiO2)；所述衬底5为硅晶片(SOI)。压电微机械超声换能器的制备方法，包括步骤：A.在衬底5上制备粘附层4；......至G.采用深反应离子刻蚀法对衬底5进行背面刻蚀。本发明压电微机械超声换能器的弛豫铁电单晶薄膜及器件结构对提高器件性能起到重要作用，在医学成像、指纹识别等超声成像领域具有重要应用价值。