等离子体用电源装置、等离子体装置及等离子体用电源装置的控制方法

摘要

等离子体用电源装置具有交流电源及控制部，交流电源生成经由电源线束向一对电极施加的预定频率的交流电压，该电源线束为了使布线长变化而一部分乃至全部能够更换且具有挠性，控制部以所述电源线束越长则频率越低的方式设定所述交流电源的所述预定频率。