碳/碳复合材料表面高温抗氧化SiC/ZrC涂层的制备方法

摘要

本发明提供一种碳/碳复合材料表面高温抗氧化SiC/ZrC涂层的制备方法，包括如下步骤：送样步骤：将放置有试样的样品台传送到溅射室，对溅射室进行抽真空；主轰击步骤：向溅射室内充入氩气，在Si靶、Zr靶和C靶加电压和电流进行轰击；镀膜步骤：开启控制Si靶和C靶的直流电源经溅射并沉积后制备满足化学计量比的SiC层，然后开启控制Si靶和C靶的直流电源经溅射并沉积后制备满足化学计量比的ZrC层；然后再依次按照上述步骤沉积SiC层、ZrC层，经多次溅射并沉积后，完成镀膜。通过该方法制备的SiC/ZrC涂层有效防止由于其热膨胀系数过大而形成的过多的裂纹，操作工艺简便、涂层结构简单、易于工业化生产。