加工非金属轻质小球表面微结构的加工系统及加工方法

摘要

本发明涉及一种加工表面微结构的加工系统及加工方法，特别涉及一种加工非金属轻质小球表面微结构的加工系统及加工方法，解决了采用现有加工系统及方法加工非金属轻质小球表面微结构时，加工和定位过程中会出现较大误差，表面加工精度大幅劣化，甚至导致零件永久变形，无法修复的问题。该加工系统的特殊之处在于：包括加工单元、工件装夹单元、工件位置定位单元及导线；加工单元包括加工激光单元以及设置在加工激光单元输出光路上的三轴运动平台；工件装夹单元包括装夹底座、弹片、支撑座及静电发生器；非金属轻质小球通过静电吸附在支撑座顶端中心的球面凹槽内；工件位置定位单元用于对非金属轻质小球进行定位；导线用于移除电荷。