一种基板剥离装置及方法

摘要

本发明实施例公开了一种基板剥离装置及方法。该基板剥离装置包括：移动平台、固定平台、移动滚轴、抬升滚轴和滚轴控制器；移动平台用于固定待剥离基板；固定平台用于固定产品基板；滚轴控制器用于向移动滚轴和抬升滚轴施加设定大小的力，并控制移动滚轴和抬升滚轴沿平行于产品基板表面的方向以及垂直于产品基板表面的方向运动，以在进行待剥离基板剥离时使抬升滚轴位于待剥离基板邻近产品基板的一侧，移动滚轴位于待剥离基板远离产品基板的一侧，并使抬升滚轴和移动滚轴以预设高度差沿平行于产品基板表面的方向运动，以使待剥离基板沿着移动滚轴的移动轨迹由产品基板上剥离。本发明实施例实现了精确的控制剥离支点的位置、剥离力度及剥离角度。