一种间接驱动金腔靶及其制造方法

摘要

本发明公开了一种间接驱动金腔靶及其制造方法，所述间接驱动金腔靶包括入射窗口、金腔体、支撑垫片及固定靶，所述入射窗口为圆形结构，其中心开设有入射孔，所述金腔体为圆柱体结构，所述金腔体的内部开设有与金腔体同心的且贯穿金腔体两端的空腔，所述空腔包括上端圆孔、圆锥孔及下端圆孔，所述圆锥孔连接上端圆孔与下端圆孔，所述固定靶为多层圆形结构，所述入射窗口设置于金腔体的一侧，所述固定靶设置于金腔体的另一侧，所述支撑垫片固定于金腔体的外部。本发明在制作金腔体时，采用先切割厚度，再加工同心圆的方式，切割精度高，加工同心圆时，在操作显微镜的观察下采用三段式钻头一次加工成型，保证了钻孔的精度。