减少背面工件损坏的系统以及方法

摘要

本发明公开一种减少在热转变期间对设置在台板上的工件的背面的损坏的系统及方法。所述系统包括控制器，控制器在热转变期间对夹持电压及背面气体压力进行调节。通过对夹持电压进行调节，工件在某些时刻可不紧紧地固持到台板，由此减少可能由驻留在台板的顶表面上的粒子造成的损坏。另外，对背面气体压力进行的调节仍允许台板与工件之间具有良好的导热性。