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公开/公告号CN111399346A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN202010290425.6
发明设计人 张宗昕;冷雨欣;王成;程欣;王关德;孙海轶;彭宇杰;王雪培;
申请日2020-04-14
分类号
代理机构上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张宁展
地址 201800 上海市嘉定区清河路390号
入库时间 2023-12-17 10:24:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20200414
实质审查的生效
2020-07-10
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