公开/公告号CN111033686A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-17
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201880053580.7
发明设计人 衡石·亚历山大·尹;朱忠伟;崔焕成;
申请日2018-08-08
分类号H01L21/02(20060101);H01L21/324(20060101);H01L21/28(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人樊英如;邱晓敏
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 10:24:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20180808
实质审查的生效
2020-04-17
公开
公开
机译： 使用等离子体和/或热处理提高基于氧化oxide的铁电材料性能的方法
机译： 通过等离子处理和/或热处理提高氧化Ha基铁电材料性能的方法
机译： 等离子体和/或热处理改善基于氧化-的铁电材料性能的方法
