检查位置确定方法、三维图像生成方法以及检查装置

摘要

提供一种无需预先确定被检查对象中的检查面的位置(Z方向位置)就能够进行准确的检查的检查位置确定方法、无需预先确定被检查对象中的检查面的位置(Z方向位置)就能够生成检查所需的三维图像来进行检查的三维图像生成方法、以及具有这些方法的检查装置。检查装置(100)具有：存储部(34)，其存储被检查体(基板)的放射线透过图像以及根据该放射线透过图像生成的三维图像；以及控制部(10)，其中，控制部(10)的确定三维图像中的检查位置的处理包括以下步骤：在放射线透过图像中确定检查位置的透过像的位置；以及根据透过像的位置来确定三维图像中的检查位置。