一种基于频谱特性的光学元件表面弱划痕检测方法

摘要

本发明公开了一种基于频谱特性的光学元件表面弱划痕检测方法，包括：(1)采用激光光源发出光线，依次经过扩束器和整形器获得各部分均匀的平顶光斑，斜入射至待测光学元件，经光学元件表面反射并依次进入光学显微镜和CCD，得到二维图像；(2)对二维图像进行二维离散傅里叶变换，将图像信息从空域转变为频域；(3)对傅里叶变换后的图像进行频移，之后进行不同方向上强度积分，获取弱划痕信号角度；(4)根据频移后的积分信号强弱，将对应方向的强度信号在频率域中滤除；(5)将处理后的图像进行傅里叶逆变换，将得到图片与原始图像进行差分，获得纯净的弱划痕图片。本发明的方法对于弱划痕检测效果好，速度较快，抗噪声干扰能力强。