一种残胶检测工具、制作方法以及残胶检测方法

摘要

本发明公开了一种残胶检测工具、制作方法以及残胶检测方法，该残胶检测工具包括至少一种均匀排布的几何图形，通过使用该残胶检测工具在涂覆有胶层的基片上进行曝光并显影；检测基片表面的光泽；根据基片表面的光泽的均匀性检测残胶区域，可以提高残胶检测的效率；并且，通过均匀排布有掩膜图案的残胶检测工具在涂有胶层的基片上进行曝光并显影，可以放大残胶产生后对基片表面反射率的影响，有利于发现基片表面轻微残胶，提高残胶检测的诊断率，进而提高产品良率。