法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01D5/353 申请日:20200429
实质审查的生效
2020-07-14
公开
公开
机译: 三维测量机,用于测量例如圆柱部分的尺寸,沿测量轴具有传感器的干涉仪测量位置,垂直于测量轴的反射镜固定在传感器上
机译: 一种使用差分激光自混合干涉仪和差分激光自混合干涉仪测量系统测量光路变化的方法
机译: 使用具有至少两个不同波长的光通量的多波长干涉仪,一种测量装置以及一种测量方法