用于扫描探针显微镜的微型悬臂梁探针及其制造方法

摘要

悬臂梁探针是由多层结构形成的，多层结构包含上基底、下基底、内层、第一分离层和第二分离层，其中第一分离层位于上基底和内层之间，第二分离层位于下基底和内层之间，以及其中第一和第二分离层相对于第一和第二基底、内层有区别地可蚀刻。上基底是第一器件层，探针针尖从此处形成。内层是第二器件层，悬臂从此处形成。下基底是手柄层，手柄或基部从此处形成。任何一层的造型和蚀刻处理通过分离层与其他层隔离。