一种电子真空泵的泵室机构及泵室降噪的电子真空泵

摘要

本发明涉及一种电子真空泵的泵室机构及泵室降噪的电子真空泵。所述的泵室机构中，将上导流槽与下导流槽设置为不完全对称的结构，可使真空泵在作业(叶片旋转)过程中，泵室内的气压变化更为缓慢，降低气体压力变化造成的噪声。同时，不完全对称的结构的上导流槽与下导流槽，在形成密闭空间的瞬间不会同时关闭，降低噪声，避免噪声叠加。通过连通的定位孔与下出气槽、中出气孔、连通的上出气槽与上出气孔，配合泵环的内腔，形成两路排气通道，即在同一个排气位置可形成多路径排气，降低真空泵排气阻力，提高真空泵的出气效率。所述的电子真空泵基于所述的泵室机构，既能避免噪声叠加，又可实现多路径高效进气与出气。同时，简化结构与装配工艺。