法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B6/50 申请日:20191128
实质审查的生效
2020-06-19
公开
公开
机译: 晶片预对准装置,其判断晶片存在的方法,感测晶片边缘位置的方法,具有用于执行该位置感测方法的记录程序的计算机可读记录介质,用于感测晶片边缘位置的装置以及预对准传感器
机译: 预点火检测器具有离子感测电路,该离子感测电路可在控制电路关闭点火控制信号以检测预点火之前运行以产生离子感测信号
机译: 晶圆预对准装置,其判断晶圆存在的方法,用于感测晶圆边缘位置的方法,具有用于执行该位置感测方法的记录程序的计算机可读记录介质,用于感测晶圆边缘位置的装置以及电量传感器