透明感光性树脂组合物、光刻间隔物、液晶显示装置、光刻间隔物的制造方法、液晶显示装置的制造方法及透明感光性树脂组合物在透镜扫描曝光中的应用

摘要

本发明的目的是提供可以形成抑制了光刻间隔物的高度偏差、兼有不易塑性变形即高弹性复原率的光刻间隔物的透明感光性树脂组合物、使用了该透明感光性树脂组合物的光刻间隔物、液晶显示装置、光刻间隔物的制造方法、液晶显示装置的制造方法以及透明感光性树脂组合物在透镜扫描曝光中的应用。本发明是一种透明感光性树脂组合物，其至少含有碱溶性树脂、光聚合引发剂和聚合性单体，上述碱溶性树脂具有：A)下述通式(1)所示的结构单元；B)下述通式(2)所示的结构单元；以及C)下述通式(3)所示的结构单元，上述碱溶性树脂的烯属不饱和基当量为400g/mol以下。(在下述通式(1)中，R