利用机器视觉检查系统测量工件表面的Z高度值的方法

摘要

一种利用机器视觉检查系统来测量工件表面的Z高度值的方法，包括：利用结构化光照射工件表面，收集工件的图像的至少两个堆栈，每个堆栈包括在每个堆栈中对应的Z高度处的、结构化光和工件表面之间的不同X‑Y位置，以及基于与在X‑Y平面中的相同工件位置相对应且处于相同Z高度的像素的强度值的集合来确定Z值。在图像的每个堆栈中，以比Z高度慢的速率改变X‑Y位置，并且X‑Y位置或者在至少两个堆栈中的每个堆栈期间以比Z移位慢的速率连续改变，或者在至少两个堆栈中的每个堆栈期间固定为不同的值。