无菌液化气体装置及无菌液化气体装置的结合管

摘要

本发明的无菌液化气体装置包括：液化气体储存罐；原料气体供给装置，用于向所述液化气体储存罐供给原料气体；冷却装置，用于对所述液化气体储存罐内进行冷却，以使所述原料气体进行液化；供给管道，用于连接所述原料气体供给装置和所述液化气体储存罐；灭菌过滤器，设置在所述供给管道上；灭菌装置，用于通过灭菌气体对位于比所述灭菌过滤器更下游部分的灭菌区域进行灭菌；和灭菌气体去除装置，用于在灭菌之后去除所述灭菌气体。