公开/公告号CN111380464A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-07
原文格式PDF
申请/专利权人 上海微电子装备(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN201811629401.8
申请日2018-12-28
分类号G01B11/02(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构31295 上海思捷知识产权代理有限公司;
代理人王宏婧
地址 201203 上海市浦东新区张东路1525号
入库时间 2023-12-17 09:42:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-31
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/02 申请日:20181228
实质审查的生效
2020-07-07
公开
公开
机译: 光栅尺的安装装置及安装方法,光栅尺测量系统及光刻机
机译: 难以受到光栅尺或盘安装误差的影响的绝对光学编码器的方法及装置
机译: 地面位移测量系统,用于其的光反射镜安装方法以及光反射镜安装装置