公开/公告号CN111289807A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-16
原文格式PDF
申请/专利权人 西安微电子技术研究所;
申请/专利号CN202010245668.8
申请日2020-03-31
分类号
代理机构西安通大专利代理有限责任公司;
代理人郭瑶
地址 710065 陕西省西安市雁塔区太白南路198号
入库时间 2023-12-17 09:38:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R29/08 申请日:20200331
实质审查的生效
2020-06-16
公开
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