一种具有波长实时修正和稳定功能的半导体激光干涉仪

摘要

本发明属于精密测量领域，具体涉及一套具有激光波长实时修正和稳定功能的半导体激光干涉仪，包括：干涉仪模块部分、波长实时修正部分、波长实时稳定部分。干涉仪模块部分可以测量移动角锥棱镜的位移值；波长实时修正部分可以通过实时测量和修正半导体激光器的波长来提高干涉仪模块部分的测量精度；波长实时稳定部分可以通过实时稳定半导体激光器的波长来提高干涉仪模块部分的稳定性。该半导体激光干涉仪结构简单，所需光学元器件少，装置整体体积较小，易集成在纳米定位平台上进行位移在线测量。