一种新型电感测微仪

摘要

本发明属于电子技术领域，提出一种新型电感测微仪。提出的一种新型电感测微仪在正弦波发生器环节采用数字合成技术合成正弦波，给传感器提供单一频率的正弦波信号，采取直接对交流信号采样分析；CPU调用存储于芯片内部的ROM里的正弦波数据，发送到DAC端口，DAC输出相应的正弦波电压，经带通滤波并放大后输出单一频率正弦波到传感器输入端OSC,完成对传感器的信号激励；传感器输出信号经运算放大器放大，再由偏置电路偏置，得到包含交流分量的直流信号，输出到ADC进行采样；数字信号采用傅里叶变换软件分析，根据DAC输出时序计算出交流信号的幅度和相位，得到传感器的位移量值。本发明的测量精度和稳定性均得到了大幅提升。