用于制造工艺监测的石英晶体微天平传感器及相关方法

摘要

一种用于监测制造系统中的制造工艺的监测装置。所述监测的制造系统包括工艺室和多个流程部件。石英晶体微天平(QCM)传感器监测制造系统的多个流程部件中的一个流程部件，并且被配置用于在制造工艺期间暴露到该一个流程部件中的工艺化学品。控制器测量由于在制造工艺期间QCM传感器和该一个流程部件中的工艺化学品之间的相互作用而导致的QCM传感器的谐振频率偏移。控制器确定工艺室中的制造工艺的参数，所述工艺室中的制造工艺的参数是作为该一个流程部件内的QCM传感器的所测量的谐振频率偏移的函数。