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公开/公告号CN111164491A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 科磊股份有限公司;
申请/专利号CN201880064506.5
发明设计人 B·布拉森海姆;
申请日2018-10-08
分类号G02B27/01(20060101);
代理机构11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人刘丽楠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 09:33:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-15
公开
机译: 椭圆偏光分析仪,椭圆偏光分析程序及用于测量薄膜厚度变化
机译: θ-theta样品定位阶段应用于使用反射计,分光光度计或椭圆仪系统的样品映射
机译: 用于两光谱自动聚焦系统的偏光光谱透镜系统
机译:固定偏振偏光椭圆仪,用于简单而灵敏地检测由特定分子相互作用产生的薄膜:在免疫测定和DNA序列检测中的应用
机译:双旋转补偿器多通道椭圆仪:用于表面和薄膜实时穆勒矩阵光谱的仪器设计
机译:两通道椭圆分析仪光谱仪,用于100–10 000eV范围内的脉冲X射线源的绝对时间分辨时间积分光谱
机译:自动化椭圆偏光光谱仪用于550x650x0.7mm LCD生产控制的复杂多层膜表征
机译:实时光谱椭圆偏光法得出的用于指导光伏应用中硅薄膜沉积的相图。
机译:用于高光谱荧光显微镜的小透镜阵列可调快照成像光谱仪(LATIS)
机译:用于斯巴鲁望远镜prime聚焦光谱仪的F /#转换微透镜的设计和性能
机译:椭圆光谱仪/门控微通道板检测器,用于X射线区域的时间分辨光谱测量