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制动阀滑阀副平面度的检测装置及检测方法

摘要

本发明提供了一种制动阀滑阀副平面度的检测装置及检测方法。其中,制动阀滑阀副平面度的检测装置包括:第一光源;干涉采集器;第一偏光片,第一光源发出的光束在经过第一偏光片时分成反射的参考光束和透射的检测光束,检测光束穿过第一偏光片后被待测工件反射后逆向照射在第一偏光片,且在第一偏光片的反射下射入干涉采集器;反光镜,参考光束反射到反光镜上,并在反光镜的至少一次反射下逆向穿过第一偏光片照射到干涉采集器上,检测光束和参考光束在干涉采集器上形成干涉图像;显示设备,显示设备与干涉采集器连接,并将干涉图像显示出来。本发明解决了现有技术中无法对制动阀滑阀副的平面度进行有效检测的问题。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/30 申请日:20200120

    实质审查的生效

  • 2020-06-05

    公开

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