公开/公告号CN111258172A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN202010068083.3
申请日2020-01-21
分类号
代理机构北京辰权知识产权代理有限公司;
代理人付婧
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2023-12-17 09:29:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/00 申请日:20200121
实质审查的生效
2020-06-09
公开
公开
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