一种单晶硅光栅导模共振滤波器

摘要

本发明公开了一种单晶硅光栅导模共振滤波器。滤波器基于单晶硅光栅制作导模共振结构，实现对线偏振光的光谱滤波，并通过改变单晶硅光栅的周期和高折射率薄膜的厚度来调节共振峰。其中TM线偏振光滤波器包括高折射率薄膜层锗、单晶硅光栅层；TE线偏振光滤波器包括二氧化硅薄膜层、锗薄膜层及单晶硅光栅层。TM、TE模式的线偏振光垂直入射到单晶硅三角形光栅上，在反射方向上实现对入射光谱的滤波。该反射滤光片结构中的单晶硅光栅采用湿法刻蚀，结构加工无需进行反应离子刻蚀，降低了此类器件的制备成本和难度。