双真空室离子束加工系统及加工方法

摘要

本发明提供一种双真空室离子束加工系统及加工方法，属于离子束加工技术领域，包括相互连通的离子源真空室和工件真空室，所述工件真空室内设有：工件翻移组件，吊装在工件真空室内，用于固定待加工工件，并带动待加工工件在工件真空室内移动、翻转。所述工件翻移组件包括：工件卡盘；工件翻转车，与所述工件卡盘连接以带动工件卡盘翻转；直线模组，用于固定所述工件翻转车，以使工件翻转车移动。本发明上料时只需将工件固定在该工件真空室的工件翻移组件上，通过工件翻移组件带动工件在工件真空室内移动，无需将工件输送至离子源真空室内，上料简单；通过工件翻移组件带动工件翻转，安装拆卸方便，提高了工作效率，降低了工作强度。