双腔室真空室开合机构的设计与优化

摘要

通过分析双腔室真空室的结构特点和工作原理,设计了开合机构的工作方案,并叙述了机构的设计过程。利用Pro/E软件中的行为建模工具,对开合机构的部分杆件进行了可行性设计,经优化后获得了满足设计要求且杆长之和最短的模型。