中口径双光栅式波像差测量激光光学系统

摘要

本发明公开了一种中口径双光栅式波像差测量激光光学系统，包括两个双胶合透镜、一个衍射光栅对和一个选级滤波器。激光束首先通过一个双胶合透镜汇聚传输，在光束聚焦前一定距离处经两个栅线方向相互垂直的衍射光栅对发生多级衍射，再通过聚焦处的选级滤波器选取衍射的±1级，滤除衍射零级和无用衍射级，最后经由另一个双胶合透镜准直出射，出射光束相互干涉即可进行入射光束波像差参数的测量。本发明不仅可实现对633nm波长口径不大于75mm的激光束进行8.5倍的缩束变换，而且可将激光束采用双光栅实现波前分束，进而得到四个与原激光束波前分布相同并相互错位的激光束，它们相互干涉即可进行入射激光束波像差的测量。