一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器

摘要

本发明涉及一种基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器，包括基底层、叉指电极层、金属氧化物层,所述金属氧化物层的上方设置有贵金属颗粒，贵金属颗粒的上方还设置有金属氧化物颗粒；通过在金属氧化物的上方设置贵金属颗粒，通过光激发出强烈的电子振荡，并在贵金属颗粒附近形成强电场，有利于将金属氧化物附近的氧气分子变成氧负离子，电阻剧烈增加；当待测气体与传感器接触时，金属氧化物自由电子浓度剧烈增加，电阻剧烈降低。通过检测电阻的变化，就可以实现气体分子的探测；该基于表面等离激元增强的金属氧化物气体传感器具有下列优点：结构简单，对气体分子检测灵敏度高，特别是甲醛、甲醇等分子检测的灵敏度更高。