基于质量比影响的气浮隔振平台性能优化设计方法

摘要

本发明RR公开一种基于质量比影响的气浮隔振平台性能优化设计方法，该方法包括：1)获取相关信息数据，以确定振动设计需求；2)根据工程设计经验以及上述设计需求，确定初步设计方案；3)基于初步设计方案，计算目标设备加速度A，并判断目标设备加速度A是否超过容许加速度[A]；当A＞[A]时，返回步骤2)修改初步设计方案；当A≤[A]时，进行步骤4)；4)计算运动部件质心高度h1以及目标设备质心高度h2，当h1/h2＞1/3时，返回步骤2)修改初步设计方案；当h1/h2≤1/3时，进行步骤5)；5)基于步骤4)之后的设计方案，进行参数化精细建模；6)进行时域分析和频域分析，最终确定优化设计方案。