用以支撑真空腔室中载体或部件的支撑装置、用以支撑真空腔室中载体或部件的支撑装置的使用、用以处理真空腔室中载体的设备、及真空沉积系统

摘要

说明一种用以支撑真空腔室(101)中的载体或部件的支撑装置(100)。支撑装置(100)包括一或多个电性可控制支撑元件(111)；壳体(112)，用以至少部分地容置此一或多个电性可控制支撑元件(111)，壳体具有容置部(113)，用于此一或多个电性可控制支撑元件(111)；密封件(114)，用以提供壳体和布置于容置部(113)中的此一或多个电性可控制支撑元件(111)之间的气密密封；以及气密连接件(115)，用于电性供应线，电性供应线用于此一或多个电性可控制支撑元件(111)。再者，说明一种制造支撑装置的方法、一种用以处理真空腔室中的载体的设备、及一种真空沉积系统。