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基于单对电极电容成像检测技术的非导电材料开口缺陷宽度方向尺寸量化方法

摘要

本发明公开了一种基于单对电极电容成像检测技术的非导电材料开口缺陷宽度方向尺寸量化的方法,涉及无损检测信号处理领域,包括:利用一个极板间距为S的探头接收包括非导电材料开口缺陷在内的输入单对电极电容成像连续n个位置处的检测信号电压值U

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B7/14 申请日:20181205

    实质审查的生效

  • 2020-06-12

    公开

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