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一种蚀刻后的表面防氧化处理装置

摘要

本发明公开了一种蚀刻后的表面防氧化处理装置,涉及防氧化技术领域。该蚀刻后的表面防氧化处理装置,包括液压仓A,所述液压仓A包括液压仓A内壁,所述液压仓A内壁与活塞C为密封活塞连接,所述活塞C的顶端与活塞传动杆A的底端固定连接,所述活塞传动杆A的顶端与活塞A的底端固定连接,所述活塞A与液压仓C为密封活塞连接,所述液压仓C的内部设置有活塞挡板,该蚀刻后的表面防氧化处理装置能够实现单种药剂不停机作业,大大的提高了工作效率,提升了产品的品质,该蚀刻后的表面防氧化处理装置能够实现不同工艺的生产需要,当生产工艺需要两种或以上的药剂的时候可以实现多种药剂依次对所需产品进行防氧化处理。

著录项

  • 公开/公告号CN111162026A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-05-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 绍兴华立电子有限公司;

    申请/专利号CN201911353419.4

  • 发明设计人 沈方晨;

    申请日2019-12-25

  • 分类号

  • 代理机构浙江永鼎律师事务所;

  • 代理人陆永强

  • 地址 312000 浙江省绍兴市袍江工业区洋江东路35号绍兴华立电子有限公司

  • 入库时间 2023-12-17 09:08:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20191225

    实质审查的生效

  • 2020-05-15

    公开

    公开

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