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一种屏幕的高温下气相反应用高压清洗装置

摘要

本发明涉及一种屏幕的高温下气相反应用高压清洗装置,包括机架,机架的中间设置供扩散漫射板立置的容置部,容置部的两侧设置清洗单元,所述的清洗单元包括与立置的扩散漫射板平行布置的钢架,钢架上设置传动机构,所述的传动机构包括平行立置的扩散漫射板设置的立杆和位于立杆之间的水平导杆,所述的水平导杆沿立杆的设置方向上下可移,水平导杆上设置滑块,所述的滑块沿水平导杆的杆长方向来回可移,滑块上设置喷头组件,所述的喷头组件包括向滑块外侧伸展的多个喷头,该多个喷头喷射端垂直所述的钢架,喷头的进水端连接供水主机。对扩散漫射板正反两面可同时自动高压清洗,成本较低,清洗高效且占地空间小适用于CVD工艺中的扩散漫射板产品。

著录项

  • 公开/公告号CN111229683A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-06-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 合肥微睿光电科技有限公司;

    申请/专利号CN201911347363.1

  • 发明设计人 高圣根;朱东海;

    申请日2019-12-24

  • 分类号

  • 代理机构杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人王桂名

  • 地址 230000 安徽省合肥市新站区九顶山路与珠城路交口东南角

  • 入库时间 2023-12-17 08:42:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):B08B3/02 申请日:20191224

    实质审查的生效

  • 2020-06-05

    公开

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