双侧多重平面倾斜波面干涉仪及其检测方法

摘要

一种双侧多重平面倾斜波面干涉仪，系统包括光源模块、第一干涉仪主机、第二干涉仪主机、双面标准平板、双面标准平板调整架、被测非透明平板元件、单点厚度测量传感器、控制处理单元；所述的第一干涉仪主机和第二干涉仪主机均为多重平面倾斜波面干涉仪，通过点源阵列发生器出射多个方向的平行测量光进行被测非透明平板元件的双侧形貌及厚度测量，本发明具有测量动态范围大、测量精度与效率高、相移方式灵活，系统误差可原位标定的特点。