一种基于光学干涉法的真空计动态特性校准装置

摘要

本发明公开了一种基于光学干涉法的真空计动态特性校准装置，利用光学干涉法动态响应快、灵敏度高、非接触性等特点，通过激光干涉仪测量气体折射率并得到标准压力，避免了计算标准压力时因边界条件限制导致的不确定度较大问题，有效的减小了真空计动态特性校准的不确定度。