一种显微镜点扩散函数的测量方法和装置

摘要

本发明提供了一种显微镜点扩散函数的测量方法与装置，涉及光学显微测量的技术领域，包括：确定光纤激光头的第一位置坐标，以使第一线偏振光射入第一探测器，且第一探测器检测到第一线偏振光的单位方向向量为预设单位方向向量；获取第二探测器发送的第二位置坐标组，以及获取显微镜的像面上的光斑图像；基于对光斑图像，预设单位方向向量和第二位置坐标组，确定出显微镜的显微放大倍数组；结合归一化函数和显微放大倍数组，确定出点扩散函数组，解决了现有显微镜点扩散函数测量技术中无法准确确定出垂直于显微镜光轴纵向物面的技术问题,实现垂直于显微镜光轴纵向物面上三维点扩散函数测量。