压电致动器、流体控制阀和流体控制装置

摘要

本发明提供压电致动器、流体控制阀和流体控制装置。即使发生了绝缘破坏，压电致动器动作也不会完全停止，还能够仅在被限制的可动范围内继续暂定的运转，为了提供该压电致动器，其包括：多个压电模块，将压电陶瓷层和电极层交替层叠而形成；以及驱动电路，与多个所述压电模块连接，多个所述压电模块分别沿伸缩方向排列设置，所述驱动电路包括：供给电流的电源部，与多个所述压电模块分别并联；以及多个限制电阻，相对于多个所述压电模块分别串联设置。