公开/公告号CN111192803A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-22
原文格式PDF
申请/专利权人 成都国泰真空设备有限公司;
申请/专利号CN202010128512.1
申请日2020-02-28
分类号
代理机构成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人贾波
地址 611130 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
入库时间 2023-12-17 08:38:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J1/304 申请日:20200228
实质审查的生效
2020-05-22
公开
公开
机译: 用于离子轰击,使用该离子轰击装置的离子轰击电极以及离子轰击方法
机译: 载体的涂覆涉及离子源和等离子体相互作用的沉积,然后暴露于高密度能量离子轰击的有限持续时间的脉冲中
机译: 一种用于在炉内部支撑和/或电连接负载的装置,以通过离子轰击和结构进行热处理,该装置可在该装置中用作电流的支撑和/或通过